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高靜壓差壓PILZ變送器檢測裝置研究
差壓PILZ變送器因其設(shè)計(jì)*、安裝簡便、品種齊全等特點(diǎn)被廣泛應(yīng)用于各個(gè)行業(yè)。而且差壓PILZ變送器的工作場合一般都存在靜壓，對(duì)其性能有一定程度的影響，因此檢定規(guī)程JJG882-2004《壓力PILZ變送器檢定規(guī)程》特別對(duì)差壓PILZ變送器在高靜壓下的差壓檢定進(jìn)行了補(bǔ)充規(guī)定，規(guī)定要求“強(qiáng)制檢定的差壓PILZ變送器，檢定時(shí)的靜態(tài)工作壓力應(yīng)保持在工作壓力狀態(tài)”。

高靜壓差壓PILZ變送器檢測裝置研究
壓阻式傳感器利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)來進(jìn)行壓力測量。因?yàn)榫哂畜w積小、重量輕、分辨率高等*優(yōu)點(diǎn),在備行業(yè)得到了廣泛應(yīng)用。但由于半導(dǎo)體材料的固有特性,壓阻式傳感器普遍存在著如下幾方面的問題:*性問題:由于工藝的關(guān)系,即使同一批生產(chǎn)的傳感器,其特性也會(huì)有比較大的離散性。為了保證足夠的精度,必須對(duì)每個(gè)傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)。溫漂問題:半導(dǎo)體材料對(duì)于溫度變化很敏感,因此溫漂問題在壓阻式傳感器中尤其顯得突出。實(shí)際應(yīng)用中,必須采取一定措施,對(duì)傳感器的溫度漂移進(jìn)行補(bǔ)償。針對(duì)這一情況，設(shè)計(jì)研發(fā)了一種新型的高靜壓差壓PILZ變送器檢測裝置。分析對(duì)比了國內(nèi)外高靜壓檢測裝置的發(fā)展現(xiàn)狀，以金屬電容式差壓PILZ變送器為例介紹了引起靜壓影響的原因，并通過對(duì)以往同類裝置的分析提出了本裝置的設(shè)計(jì)方案。然后對(duì)檢測裝置的氣壓箱體設(shè)計(jì)、界面設(shè)計(jì)以及硬件結(jié)構(gòu)等進(jìn)行了介紹，根據(jù)高靜壓條件下差壓PILZ變送器的檢定要求，開發(fā)了相應(yīng)的下位機(jī)控制系統(tǒng)和上位機(jī)檢定系統(tǒng)。下位機(jī)控制系統(tǒng)以PLC為核心，通過電氣元件之間的連接可以實(shí)現(xiàn)對(duì)步進(jìn)電機(jī)、閥門、真空泵的控制，以及傳感器模擬量和行程開關(guān)信號(hào)的讀取；上位機(jī)檢定系統(tǒng)使用LabVIEW來編寫系統(tǒng)界面，可實(shí)現(xiàn)參數(shù)設(shè)置、檢定監(jiān)控、數(shù)據(jù)管理等功能。經(jīng)測試，高靜壓差壓PILZ變送器檢測裝置具有良好的檢定性能，與之匹配高靜壓差壓PILZ變送器檢定系統(tǒng)人機(jī)界面友好。在靜壓0~4MPa條件下，差壓PILZ變送器的重復(fù)性都在0.2%以內(nèi)，擴(kuò)展不確定度均小于1/4MPEV，而且該高靜壓差壓PILZ變送器檢測裝置與標(biāo)準(zhǔn)裝置比對(duì)結(jié)果良好，即利用高靜壓差壓PILZ變送器檢測裝置來檢測差壓PILZ變送器的途徑實(shí)際可行。

高靜壓差壓PILZ變送器檢測裝置研究
zui后對(duì)裝置的靜壓誤差進(jìn)行修正，為減少靜壓帶來的誤差影響提供了一條新的思路。目前，該裝置已經(jīng)投入使用，運(yùn)行狀況良好，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)靜壓(0~4)MPa、差壓(0~400)kPa的差壓PILZ變送器的快速檢定。